美國(guó)Onto Innovation由Rudolph Technologies, Inc.和Nanometrics Incorporated于2019年合并而成,總部位于馬薩諸塞州威爾明頓,是微電子制造行業(yè)過程及過程控制設(shè)備和軟件的提供商,擁有貫穿整個(gè)半導(dǎo)體價(jià)值鏈的獨(dú)特視角。我們助力客戶解決良率、器件性能、質(zhì)量和可靠性方面棘手的問題。Onto Innovation 通過提升客戶的智能化、速度和效率,優(yōu)化其關(guān)鍵發(fā)展路徑。Onto Innovation ,并通過遍布全球的銷售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)為客戶提供支持。
我們兼具全球企業(yè)的規(guī)模優(yōu)勢(shì)和一系列技術(shù),包括:無圖案晶圓質(zhì)量控制;涵蓋從納米級(jí)晶體管到大型芯片互連的芯片特征的 3D 計(jì)量;晶圓和封裝的宏觀缺陷檢測(cè);金屬互連成分分析;工廠分析;以及用于先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的光刻技術(shù)。憑借如此廣泛的產(chǎn)品組合和我們互聯(lián)互通的思維方式,我們能夠與客戶攜手合作,共同探討從裸硅晶圓到晶圓廠,再到后端封裝的整個(gè)工藝良率和工藝偏差問題。Onto Innovation 的軟件能夠幫助客戶了解各個(gè)工藝流程如何影響整體產(chǎn)品,從而提升產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。
Onto主要產(chǎn)品:
晶圓檢測(cè)機(jī)
目視檢測(cè)機(jī)
宏觀缺陷檢測(cè)機(jī)
表面檢測(cè)機(jī)
3D檢測(cè)機(jī)
顆粒缺陷檢測(cè)
晶圓計(jì)量系統(tǒng)
半導(dǎo)體計(jì)量系統(tǒng)
光致發(fā)光檢測(cè)系統(tǒng)
薄膜厚度測(cè)量機(jī)
半導(dǎo)體行業(yè)光刻系統(tǒng)
連續(xù)性測(cè)試儀
主要型號(hào):
Firefly、Dragonfly G3、NovusEdge、F30、EB40、NSX 330、AWX FSI、OCD、NanoSpec II、IMPULSE V、IMPULSE+、Atlas V、Atlas III+、Atlas XP+、Aspect、、IVS 系列、Iris系列、Echo、Imperia、、Vertex、RPMBlue、ECV Pro、QS1200、QS2200、JetStep W2300JetStep S3500、JetStep G35、JetStep G45、PrecisionWoRx VX4