BDISCOM電源BDS SP 3

BDISCOM是一家制造公司，生產(chǎn)直流低壓和高壓/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及臺(tái)式射頻等離子體反應(yīng)器系列，還提供發(fā)電機(jī)、電源和過程控制系統(tǒng)。多年來積累了豐富的設(shè)計(jì)開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，通過不斷地研究創(chuàng)新，提高產(chǎn)品質(zhì)量及性能，滿足客戶需求。

BDS SP 3是用于直流濺射工藝的新型電源系列。

• 所有單元均配備用戶友好的主動(dòng)式觸摸屏顯示器
• 點(diǎn)火電壓高達(dá) 1,1 kV
• 電弧檢測(cè) DV/DT 關(guān)閉時(shí)間 < 1mSec
• 冷卻空氣

• 電源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
• max功率輸出：3、6 和 12kw FS
• max電壓輸出：1000 Volt FS
• max電流輸出：6、12 和 25 安培
• 點(diǎn)火：1,1 KVolt
• 電弧探測(cè)器：< 200 nSec 檢測(cè)，< 1 mSec DV/DT 關(guān)閉時(shí)間
• 效率：> 90 %
• 顯示：觸摸面板 240x128 像素
• 調(diào)節(jié)模式：功率/電壓/電流（可選）
• 冷卻：空氣（強(qiáng)制）
• 接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 選項(xiàng)）
• 工作溫度：5-40°C
• 尺寸：19” 機(jī)架 - 4HU