VAT轉(zhuǎn)移門(mén)插件07.0

品　　牌：VAT
型　　號(hào)：07.0
技術(shù)資料：
閱讀次數(shù)：970

產(chǎn)品介紹

在半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中，大氣轉(zhuǎn)移門(mén)的核心性能指標(biāo)在于：顆粒激活度與顆粒排放量低，以及快速可靠的啟閉循環(huán)。

全新07.0 HV轉(zhuǎn)移門(mén)插件搭載LINVAT技術(shù)，將非凡的顆粒性能與優(yōu)化的可控性完整結(jié)合，實(shí)現(xiàn)可調(diào)節(jié)的快速循環(huán)周期。

07.0 HV轉(zhuǎn)移門(mén)插件采用LINVAT技術(shù)，其設(shè)計(jì)重點(diǎn)在于優(yōu)化顆粒性能與高速循環(huán)周期。

通過(guò)優(yōu)化多項(xiàng)設(shè)計(jì)特性，實(shí)現(xiàn)了卓絕的顆粒性能表現(xiàn)：板材上的扭力桿確保均勻密封壓縮，全封閉式執(zhí)行器，免潤(rùn)滑環(huán)境，以及具備可調(diào)速曲線的真實(shí)L-Motion運(yùn)動(dòng)模式，有效避免閉合沖擊。

07.0型卓絕的真實(shí)L型運(yùn)動(dòng)及可調(diào)速特性，源于VAT專有的LINVAT技術(shù)。該技術(shù)摒棄傳統(tǒng)L型運(yùn)動(dòng)中垂直與水平方向分別采用兩個(gè)執(zhí)行器的方案，僅通過(guò)單個(gè)執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)兩步運(yùn)動(dòng)。由此形成高度可靠的執(zhí)行器方案，具備快速、穩(wěn)定、可調(diào)且無(wú)沖擊的運(yùn)動(dòng)特性。優(yōu)勢(shì)在于：提升設(shè)備運(yùn)行時(shí)間并增強(qiáng)可控性。

性能特點(diǎn)

改進(jìn)的顆粒性能設(shè)計(jì)

無(wú)油運(yùn)行環(huán)境

卓絕的精細(xì)L型運(yùn)動(dòng)

均勻的密封壓縮

靈活的D-sub和AMP連接

出彩的顆粒性能

高運(yùn)行時(shí)間

可靠運(yùn)行

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地	瑞士
尺寸	DN 10 mm (1.81“ × 9.29”)
	DN 12 mm (1.97“ × 13.23”)
	DN 14 mm (1.38“ × 13.23”)
	DN 15 mm (2.56“ × 16.54”)
	DN 20 mm (1.97“ × 16.54”)
執(zhí)行機(jī)構(gòu)	氣動(dòng)
穿管	波紋管
泄漏率	< 1 × 10?? mbar·l/s
閘門(mén)處壓差	關(guān)閉方向：≤ 1 bar
閘門(mén)處壓差	開(kāi)啟方向：≤ 0.1 bar
開(kāi)啟過(guò)程壓差	≤ 30 mbar
初次維護(hù)前循環(huán)次數(shù)	≥ 300萬(wàn)次
動(dòng)作時(shí)間	開(kāi)啟： ≤ 1秒
動(dòng)作時(shí)間	關(guān)閉：≤ 1秒
溫度	閥門(mén)處：≤ 120 °C
溫度	執(zhí)行器處：≤ 80 °C
材質(zhì)	閥體：鋁合金
材質(zhì)	波紋管保護(hù)層：聚四氟乙烯
密封件	硫化FFKM橡膠
安裝位置	執(zhí)行器可上下安裝
氣源故障鎖定	氣動(dòng)鎖定
位置指示器	簧片開(kāi)關(guān)
重量	DN 10, DN 12, DN 15：8.5千克 /18.7磅
重量	DN 14, DN 20：7.5 kg /16.5 lbs

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體制造：用于晶圓傳輸、真空腔室隔離等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，保障生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度與設(shè)備穩(wěn)定性。

顯示器生產(chǎn)：支持干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）等工藝的真空控制。

科學(xué)儀器領(lǐng)域：在科研裝置中實(shí)現(xiàn)高精度真空傳輸。

工業(yè)真空系統(tǒng)：如真空爐、真空運(yùn)輸、電池生產(chǎn)等場(chǎng)景的顆粒控制與高效傳輸。

VAT轉(zhuǎn)移門(mén)插件07.0

產(chǎn)品介紹

性能特點(diǎn)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品應(yīng)用

相關(guān)產(chǎn)品