VAT高真空閘閥11.1

11.1 HV閘閥系列配備專為閘板密封設(shè)計、可實現(xiàn)無摩擦可靠密封的VATLOCK技術(shù)。該技術(shù)通過在關(guān)閉端位實現(xiàn)機械鎖定，有效防止閥門故障。

該系列及其前代產(chǎn)品11.0系列已在數(shù)千個嚴(yán)苛工況中投入使用，經(jīng)受住各種工藝條件的考驗，其卓絕可靠性已獲充分驗證。在DN 63-320毫米（2.5“-11.5”）規(guī)格范圍內(nèi)，它們已成為高壓隔離需求的行業(yè)標(biāo)桿。

憑借堅固設(shè)計，11.1系列滿足高壓閘閥可靠運行的全部要求。該系列專為ultra-high工藝循環(huán)次數(shù)設(shè)計，樹立了通用型高壓閘閥的新標(biāo)桿。

本系列提供多種驅(qū)動方式和法蘭連接方案，可輕松集成至任何高壓系統(tǒng)。窗口、端口等豐富特殊選項確保整體適配各類應(yīng)用場景。

11.1 HV閘閥提供手動、氣動及三位置氣動三種版本。該閥門可通過電磁閥控制，電磁閥可安裝在閥體上，也可根據(jù)需要安裝在遠端位置。電磁閥標(biāo)準(zhǔn)電壓為24V直流，其他電壓規(guī)格可按要求提供。閥門位置通過雙位置指示器顯示——分別配備兩個開關(guān)用于“開”和“關(guān)”位置——并帶有轉(zhuǎn)換觸點。

法蘭連接器的標(biāo)準(zhǔn)選項包括ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS。可集成帶水冷或不帶水冷的客戶定制法蘭。

閘板密封可選O型圈密封或硫化密封（maxDN 200 mm/8"）。因其在真空性能和可靠性方面表現(xiàn)優(yōu)異，建議采用硫化密封方案。

可靠、久經(jīng)考驗的設(shè)計

配備防故障保護的VATLOCK技術(shù)

堅固耐用的不銹鋼主體

高循環(huán)設(shè)計

焊接金屬波紋管密封穿墻件

彈性體密封閘閥類別中真空性能

運行可靠

延長免維護周期

低擁有成本

半導(dǎo)體制造

用于基質(zhì)轉(zhuǎn)移、工藝腔室隔離等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，確保高純度真空環(huán)境，防止顆粒污染。

顯示器生產(chǎn)

適配干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）、OLED蒸發(fā)等工藝，滿足精細控制需求。

科研與高能物理

在空間模擬、高能物理實驗中，提供穩(wěn)定的高真空隔離解決方案。

工業(yè)領(lǐng)域

真空爐、真空運輸、電池生產(chǎn)等場景，依賴其可靠性和耐久性。