VAT擺動控制閥65.5

品　　牌：VAT
型　　號：65.5
技術資料：
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產(chǎn)品介紹

65.5 HV擺動控制閥提供卓絕的高可控導電率范圍。其關鍵特性還在于平滑的啟閉運動，可實現(xiàn)極低的顆粒計數(shù)和低顆粒活化水平。

該閥門專為半導體生產(chǎn)工藝中的腐蝕性蝕刻和清洗等惡劣工況設計，在需要高可控導電率范圍且初始可控導電率較低的應用場景中表現(xiàn)優(yōu)異。

65.5閥門提供DN 250mm（10英寸）規(guī)格，lowest導通量可控至2 l s?¹。憑借32位執(zhí)行器控制器的數(shù)據(jù)處理能力，導通量增量可實現(xiàn)極精細調(diào)控。其傳感器與控制指令處理速度優(yōu)于同等16位控制器，從而提供更快的執(zhí)行響應。控制器配備多種標準端口接口，可輕松連接個人電腦或過程控制單元。

擺動閘門機構采用高度堅固的設計，確保能抵御任何工藝副產(chǎn)物的影響。為減少密封件磨損并避免顆粒產(chǎn)生及活化，其啟閉運動被分段實施：初始導流階段通過閘門垂直遠離閘座實現(xiàn)，后續(xù)導流增強則依靠閘門水平擺動完成。憑借閘門運動的精細可控性，預設運動序列可準確匹配工藝需求。通過專利設計的專用壓緊桿將閘門壓向閥座，確保閘門各區(qū)域均獲得均勻密封壓力，實現(xiàn)完全密封關閉。

65.5系列采用緊湊設計，支持直接安裝及多種其他配置選項，可輕松集成于各類真空工藝流程。

65.5 HV擺動控制閥提供空白或硬質(zhì)陽極氧化鋁材質(zhì)，配備符合ISO-F和JIS標準的法蘭連接件。可集成客戶定制法蘭，并可加裝加熱器以滿足高達120°C的閥門工作溫度需求。

性能特點

在惡劣工藝環(huán)境中實現(xiàn)可靠隔離

低沖擊運行，低顆粒活化

工藝惰性——極低殘余脫氣量（RGA）

快速可調(diào)操作

內(nèi)置壓力控制器

僅需單一電源供電，可選配傳感器電源

卓絕的壓力控制性能

快速運行，幾乎無顆粒產(chǎn)生

可根據(jù)工藝要求調(diào)節(jié)

產(chǎn)品結構與細節(jié)

閘板
執(zhí)行器軸
雙軸執(zhí)行器
執(zhí)行器穿壁密封件
閘板密封件

技術參數(shù)

產(chǎn)地	瑞士
尺寸	DN 250 (10")
執(zhí)行器	帶伺服驅(qū)動的集成壓力控制器
閥體材料	鋁坯或硬質(zhì)陽極氧化鋁
穿墻件	旋轉(zhuǎn)穿墻件
標準法蘭	ISO-F、JIS
安裝位置	任意
泄漏率閥體	鋁坯：< 1 × 10?? mbar·s?¹
泄漏率閥體	硬質(zhì)陽極氧化鋁：< 1 × 10?? mbar·s?¹
閥座泄漏率	鋁坯：< 1 × 10?? mbar·ls?¹
閥座泄漏率	硬質(zhì)陽極氧化鋁：< 1 × 10?? mbar·ls?¹
壓力范圍	鋁坯：1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs)
壓力范圍	硬質(zhì)陽極氧化鋁：1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs)
溫度	閥體：≤ 120 °C
溫度	控制器：highest 50 °C（引薦 ≤ 35 °C）
材質(zhì)	閥體、閥板：EN AW-6061 (3.2311) T651
	其他部件：AISI 316L（1.4404, 1.4435）
	閥板連接螺釘：SST A4-80，鍍鎳聚四氟乙烯（Ni-PTFE）
密封件	閥蓋、閥板體穿壁件：氟橡膠（FKM/Viton）

產(chǎn)品應用

半導體制造：在腐蝕性刻蝕和清潔工藝中，65.5系列閥門通過精細流導控制，減少粒子污染，提升良品率。

顯示器生產(chǎn)：其低沖擊運行特性避免對敏感顯示層的損傷，確保生產(chǎn)穩(wěn)定性。

真空傳輸系統(tǒng)：緊湊設計和可靠密封性能，使其成為真空傳輸環(huán)節(jié)的理想選擇。