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      NUMERIK JENA光柵尺Kit L2 vac

      產品介紹

      Kit L系列直線光柵尺特別設計用于個性化的應用。該系列產品不僅擁有極小的尺寸,更提供配置能力。該系列產品幾乎不限制設計師的設計自由。

      性能特點

      • 特殊真空版的Kit L2帶EPIFLEX讀數模塊(2場掃描)
      • 帶EPIFLEX讀數模塊(2場掃描)
      • 光柵尺部件滿足真空度達10 E-6 mbar(UHV)的氣壓要求
      • 1 Vpp或RS 422輸出信號
      • 多達100倍的細分信號
      • 最小測量步距僅50 nm
      • 運動速度達10 m/s(1 Vpp)

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